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2011年6月,东方集成参与第十六届固态传感器、执行器与微系统国际会议展览(MEMS)
2011-06-09
2011年6月5日-9日,北京东方中科集成科技股份有限公司,参加了在国家会议中心举办的“第十六届固态传感器、执行器与微系统(MEMS)国际会议展览会”。

  展会集中展示了东方集成和SENTECH等离子体设备在有机物、深硅、三五族化合物、金属方面刻蚀和电介质沉积方面的应用等行业领先的技术优势。引起与会代表及观众的普遍关注和好评。
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