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2012年6月,东方集成参加
Nanotech China 2012第四届中国(上海)国际微纳米展览
2012-06-11
“Nanotech China 2012第四届中国(上海)国际微纳米展览暨微纳新技术与产业化论坛”于2012年6月11日~13日,在上海光大国际会展中心西馆成功举办,东方集成携手德国SENTECH参加了本次隆重的行业盛会。本次展会由中国微纳技术协会主办,吸引了大批化工、新材料、油墨、化妆品、生命科学、能源、石油、涂料、半导体、汽车、电子制造、微电子等多个领域的专业观众参展。德国SENTECH生产世界领先的等离子加工设备和薄膜测量仪器。东方集成作为德国SENTECH在中国地区的总代理,展出了SENTECH针对微纳米结构加工的ICP电感耦合等离子刻蚀、RIE反应离子刻蚀、ICPECVD电感耦合等离子沉积等加工设备和光谱椭偏仪、红外椭偏仪等微纳结构测量仪器,并展出其最新型等离子增强原子层沉积设备,吸引大批参展人员驻足而观,并得到高度认可。
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