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东方集成参加第七届中国微纳电子技术交流与学术研讨会取得圆满成功
2014-08-06
8月5日,全国半导体器件产业发展、创新产品和新技术研讨会,第七届中国微纳电子技术交流与学术研讨会在太原召开,该会议由中国半导体行业协会主办,来自全国各高校、科研院所的专家学者和相关企业代表近300人参加了本次研讨会。此次研讨会为期两天,主要涉及方面包括光电技术、硅基技术、微纳电子技术、宽禁带技术和工艺检测与设备等。


  北京东方中科集成科技股份有限公司(以下简称“东方集成”)作为企业代表参加了本次会议,在会议上与各专家学者进行了广泛的交流,包括:
  1. 椭偏仪在薄膜测量领域的新应用,其中涉及通过椭偏仪进行3D轮廓特征尺寸的表征及穆勒矩阵测量的技术问题;

  2. 等离子刻蚀、沉积在不同半导体材料中的应用,特别是宽禁带半导体材料,如GaN、SiC等,同时还和专家们特别讨论了等离子刻蚀在电力电子器件、微机械器件中的特殊工艺情况;

  3. 其他主要半导体工艺,如蒸发、溅射、离子注入等,并交流了东方集成在以上半导体工艺上可提供的技术支持。

  总之,通过本次研讨会的交流,东方集成与半导体产业方面的科研专家增进了相互了解,更清楚用户的需求,东方集成将一如既往地向全国用户提供专业优质的仪器设备服务。
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