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深圳证券交易所

股票代码:002819

股票代码

SZ002819

400-650-5566

FEMTO COVANCE-MP 等离子表面处理系统

femto COVANCE-MP 等离子表面处理系统
COVANCE-MP 等离子表面处理系统 产品规格

真空室:Dia. 150mm × L. 320mm
气 路:标准一路气体(最多3路气体,MFC)
电 源:50kHz,200W
操作界面:全自动&手动操作(触摸屏模式)
压力监测:大气压~ 1×10-3 Torr
选配项:石英腔体/ Dia. 150mm × D. 350mm
    电源功率升级(最大300W)
    射频电源(13.56MHz,最高300W,包括水冷)
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