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股票代码:002819

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SZ002819

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FEMTO CUTE-MPR 等离子表面处理系统

femto CUTE-MPR 等离子表面处理系统
CUTE-MPR 等离子表面处理系统 产品规格

真空室:140 × 200 × 110(W × D × H / mm)
气 路:标准一路气体(最多2路气体,MFC)
电 源:50kHz,100W
操作界面:全自动&手动操作(触摸屏模式)
压力监测:大气压~ 1×10-3 Torr
选配项:电源功率升级(最大300W)
    射频电源(13.56MHz,最高300W,包括水冷)
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