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股票代码:002819

股票代码

SZ002819

400-650-5566

FEMTO Plasma WideFlux-S 等离子表面处理系统

femto Plasma WideFlux-S 等离子表面处理系统
提供服务:半导体
产品名称:
等离子表面处理系统
产品型号:
Plasma WideFlux-S
厂商名称:
FEMTO
产品属性:
主机
商品描述:
Plasma WideFlux-S 等离子表面处理系统
Plasma WideFlux-S 等离子表面处理系统 产品规格

等离子类型:Line 200mm
主要气体:氮气(N2)
混合气体:N2+O2, N2+CDA, N2+Ar
电 源:LF 30kHZ,2kW
样品台:Y-Motion control
操作界面:清晰触摸屏
选配项:X-Z motion
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